焦点快报!足协杯-谢维军梅开二度天津津门虎2-0无锡吴钩,下轮对阵上海海港
直播吧6月24日讯北京时间6月24日19:30,足协杯第3轮,无锡吴钩主场迎战
众所周知,目前国产最先进的光刻机是上海微电子的SSX600系列光刻机。其中最先进的型号是SSA600/20,在分辨率这里写的是90nm。
也因为写着90nm,所以很多人争起来了,有人说最多就是制造90nm制程的芯片,也有人说这台光刻机属于ArF光刻机,最多可以达到65/55nm。
还有人说,虽然是90nm,但经过多次曝光后,可以达到28nm精度,那么问题来了,它究竟能制造多少纳米的芯片?
【资料图】
如果不进行多重曝光,肯定最多就是达到ArF的极限,也就是65/55nm,这是光刻机技术本身决定的,但是如果经过多重曝光后,情况确实不一样了。
光刻机技术确实可以利用多重曝光工艺实现更小线宽,目前多重曝光技术有三种,分别是LELE、LFLE、SADP。
LELE是指将原本一层的电路,拆分成几层进行光刻机;而LFLE则将第二层光刻胶加在第一层已被化学冻结但没去除的光刻胶上,再次进行光刻,形成两倍结构。这两种方式结构简单,缺点多次曝光要进行对准,误差较大,会显著降低良率。
SADP技术又不一样,又称侧墙图案转移,用沉积、刻蚀技术提高光刻精度,其难点主要是工艺过程对侧壁沉积的厚度、刻蚀形貌的控制极其重要,另外SADP可以两次达到4倍精度。
也就是说,如果采用SADP多重曝光,最终实现4倍精度的话,90nm的光刻机,最终理论上确实是可以实现最高22.5nm工艺,可见国产90nm的光刻机,理论上达到28nm是没什么问题的。
不过大家要注意的是,不管是采用LELE或LFLE,或者采用SADP多重曝光技术,都提高了对刻蚀、 沉积等工艺的技术要求,并且因为增加了使用次数, 使晶圆光刻成本直接就增加了2-3倍,再加上多次曝光会显著降低良率。
所以如果采用多次曝光,实现4倍精度的话,其晶圆的制造成本,可能比一次曝光的成本,提高5倍以上,生产出来的芯片,都会成为成本过高,没法应用于市场。
所以,采用多重曝光技术,在28nm阶段,并不合适的,也一般没人使用,因为28nm技术很成熟,利润非常低,多重曝光导致成本上涨5倍,晶圆厂绝对是亏本的的。
原文标题 : 国产90nm的光刻机,经多重曝光后,能生产28nm芯片?
关键词:
直播吧6月24日讯北京时间6月24日19:30,足协杯第3轮,无锡吴钩主场迎战
《最终幻想16》M站用户评分解禁,截止发稿本作用户打分从7分跌至6 8分
橱柜台面什么材质好百度,橱柜台面什么材质好这个很多人还不知道,现在
1、拿右边原木色架子上的剪刀。盆栽里有一个棋子。拿剪刀剪掉大场景中
新春伊始,碧水蓝天足浴城隆重开业。为营造氛围,吸引眼球,在足浴城广
hello大家好,我是城乡经济网小晟来为大家解答以上问题,平价又好的眼
谁说毕业季就是分手季?当 毕业季主打一个出人意料 话题火上热搜,我们
1、专属佩戴法:这种戒指佩戴法是基于中国古代男左女右的说法,情侣戒
直播吧6月24日讯今天是梅西的36岁生日,罗萨里奥以灯光秀为他庆生。梅
1、东永裴东永裴2、东永裴,男,是bigbang的主音。孙的声音很简单,但
汉阳:汉水公园荷花开满塘---近日,位于汉阳区的汉水公园里,满塘的荷
在智能拼音越来越智能的时代,五笔无疑是一种互联网原教旨主义的操守。
海南日报记者郭萃6月25日至27日中考期间,为确保考生准时到达考点应试
vivoS15是vivo目前最新款的手机,这款手机吸引了不少的成为了这款手机
长江日报大武汉客户端6月24日讯6月23日,绰号“林疯狂”的知名篮球运动
Copyright 2015-2022 时代双创网 版权所有 备案号: 联系邮箱: 514 676 113@qq.com
英飞拓(002528.SZ)近日走出大涨大跌的过山车行情 今日一字板跌停
英飞拓(002528 SZ)近日走出大涨大跌的过山车行情,此前走出3连涨停创下阶段新高,今日一字板跌停,录得连续2日跌停,大幅回吐此前涨幅,现
京基智农(000048.SZ)再度跌超6% 总市值失守百亿元大关
昨日跌停的京基智农(000048 SZ)再度跌超6%,盘中低见16 5元创5个月新低,总市值失守百亿元大关。公司控股股东京基集团7月4日通过大宗交易方
随着全光网络越织越密 如何进一步增强消费者和产业界的“获得感”?
近年来,在5G和宽带双千兆牵引下,新项目、新试点、新应用层出不穷。随着全光网络越织越密,如何进一步增强消费者和产业界的获得感?湖北日